英國Quorum 超高分辨率成像專用鍍膜儀 Q150T S Plus
超高分辨率成像專用鍍膜儀采用隔膜泵加渦輪分子泵兩級真空系統(tǒng),最低真空可達5X10-5mbar。得益于很好的背景真空,從而可以實現(xiàn)超細金屬顆粒鍍膜,滿足超高分辨成像。同樣的針對鍍碳需求來說,較低的散射能夠實現(xiàn)高純度致密的非晶碳鍍膜。
采用可互換鍍膜頭設計能夠實現(xiàn)一臺設備同時具備金屬靶材鍍膜、鍍碳以及輝光放電功能。碳繩蒸鍍作為可選項,同時設備具備鍍膜頭自動識別功能。可拆卸腔體設計,易于樣品艙的清洗,防止鍍膜交叉污染。用戶可以快速清潔腔體及底座,同時提供高腔體選項,用于鍍碳,避免樣品過熱,同時可以提高鍍膜的均勻性及裝載更高樣品。