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英國Quorum 超高分辨率成像專用鍍膜儀 Q150T S Plus

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英國Quorum 超高分辨率成像專用鍍膜儀 Q150T S Plus

超高分辨率成像專用鍍膜儀采用隔膜泵加渦輪分子泵兩級真空系統(tǒng),最低真空可達(dá)5X10-5mbar。得益于很好的背景真空,從而可以實(shí)現(xiàn)超細(xì)金屬顆粒鍍膜,滿足超高分辨成像。同樣的針對鍍碳需求來說,較低的散射能夠?qū)崿F(xiàn)高純度致密的非晶碳鍍膜。

  采用可互換鍍膜頭設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)一臺設(shè)備同時(shí)具備金屬靶材鍍膜、鍍碳以及輝光放電功能。碳繩蒸鍍作為可選項(xiàng),同時(shí)設(shè)備具備鍍膜頭自動(dòng)識別功能。可拆卸腔體設(shè)計(jì),易于樣品艙的清洗,防止鍍膜交叉污染。用戶可以快速清潔腔體及底座,同時(shí)提供高腔體選項(xiàng),用于鍍碳,避免樣品過熱,同時(shí)可以提高鍍膜的均勻性及裝載更高樣品。



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